Mô tả sản phẩm:
Tấm silicon trên chất cách điện (SOI) cung cấp giải pháp sản xuất có thể giúp giảm điện năng và nhiệt đồng thời tăng hiệu suất tốc độ của thiết bị.
Silicon trên các tấm cách điện phổ biến nhất trong các hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) và chế tạo mạch tích hợp kim loại–oxit–bán dẫn (CMOS) bổ sung tiên tiến. Silicon trên tấm cách điện cải thiện nhiều quy trình mà các tấm silicon truyền thống hơn được sử dụng.
Những tấm wafer này cung cấp giải pháp sản xuất giúp giảm điện năng và nhiệt đồng thời tăng hiệu suất tốc độ của thiết bị. Silicon trên tấm cách điện là một lớp vật liệu ba lớp bao gồm những thành phần sau: một lớp hoạt tính silicon chất lượng cao (lớp thiết bị), một lớp oxit chôn (hộp) chứa silicon dioxide cách điện và một tấm wafer hỗ trợ silicon số lượng lớn (tay cầm). Tấm wafer SOI là sản phẩm độc đáo dành cho các ứng dụng cụ thể của người dùng cuối.
| Dự án | tham số | |
|
Tổng thể |
Đường kính wafer (mm) |
50/75/100/125/150/200mm±25um |
|
Cung/Warp(<> |
<10um |
|
|
Hạt(<> |
0.3um<30ea |
|
|
Căn hộ / Notch |
Bằng phẳng hoặc Notch |
|
|
Loại trừ cạnh (mm) |
/ |
|
|
Lớp thiết bị |
Loại lớp thiết bị/Dopant |
Loại N/Loại P |
|
Định hướng lớp thiết bị |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Độ dày lớp thiết bị (um) |
0.1~300um |
|
|
Điện trở lớp thiết bị (ohm·cm) |
0.001~100,000 ohm-cm |
|
|
Các hạt lớp thiết bị (<> |
<30ea@0.3 |
|
|
Lớp thiết bị TTV(<> |
<10um |
|
|
Kết thúc lớp thiết bị |
đánh bóng |
|
|
HỘP |
Độ dày oxit nhiệt chôn (um) |
50nm(500Å)~15um |
|
Lớp xử lý |
Xử lý loại wafer/Dopant |
Loại N/Loại P |
|
Xử lý định hướng wafer |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Điện trở suất của wafer xử lý (ohm·cm) |
0.001~100,000 ohm-cm |
|
|
Xử lý độ dày wafer (um) |
>100um |
|
|
Xử lý kết thúc wafer |
đánh bóng |
|
*Nếu yêu cầu của bạn nằm ngoài các thông số kỹ thuật trên, vui lòng liên hệ với chúng tôi để thảo luận thêm. Đối với các độ dày lớp thiết bị khác nhau và các tấm wafer SOI tùy chỉnh, có thể có số lượng đặt hàng tối thiểu là 15-25 tấm wafer cho một số thông số kỹ thuật nhất định.
Chú phổ biến: 2"-8"soi wafer, Trung Quốc 2"-8"soi wafer nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy
