Các loại vật liệu SOI

Hiện nay, các vật liệu SOI được sử dụng rộng rãi và hứa hẹn nhất là vật liệu SIMOX (Tách bằng oxy cấy), vật liệu BESOI (Bonding-Etchback SOI) với liên kết wafer silicon và khắc axit ngược, và vật liệu Smart Cut SOI kết hợp liên kết và phun. Trong số ba vật liệu này, SIMOX phù hợp để chế tạo các mạch tích hợp quy mô cực lớn đã cạn kiệt hoàn toàn màng mỏng, vật liệu BESOI phù hợp để chế tạo các mạch tích hợp đã cạn kiệt một phần và vật liệu Smart Cut là những vật liệu SOI rất hứa hẹn, có khả năng trở thành vật liệu xu hướng chủ đạo của vật liệu SOI trong tương lai.
Phạm vi ứng dụng
Ngoài những ưu điểm độc đáo, nó còn được sử dụng trong các mạch tích hợp và cũng được sử dụng trong sản xuất hệ thống MEMS cơ điện vi quang, chẳng hạn như bộ chuyển mạch mảng gương 3D. Gương được hình thành bằng cách tạo thành một gương di động trong lớp hoạt động của chất nền SOI và kết nối nó với chất nền của một điện cực hình bậc thang khác. Do sử dụng chất nền silicon đơn tinh thể và màng phản chiếu được hình thành đối xứng ở bề mặt trên và dưới của gương di động có đường kính 500 micron trong cùng điều kiện, nên nó có độ cong vênh 10 nanomet và độ nhám bề mặt là 10 nanomet. hàng chục nanomet.